Машини й апарати, використовувані лише чи переважно для виробництва чи
ремонтування масок і фотошаблонів; складання напівпровідникових приладів або
електронних інтегрованих схем; підіймання, переміщення, завантаження,
розвантаження зливків, пластин, напівпровідникових приладів, електронних
інтегрованих схем і дисплеїв з пласким екраном